Animation 1. Implantation des caissons source et drain.
J3eA, Vol. 1, 5. © EDP Sciences, 2002.

• Implantation source et drain à travers le masque de grille.
• Les ions pénètrent dans le Si là où il n'y a pas de masque.
• Début du recuit post-implantation.
• Les impuretés implantées diffusent au cours du recuit post-implantation.
• Début du recuit post-implantation.