Les microsytèmes : conception, simulation, tests et caractérisations - Enseignement des microsystèmes
S. Muratet * ¤ et J.-Y. Fourniols ** ¤ (INSA Toulouse)
J3eA - Vol. 2 - 16 (2003).
DOI : 10.1051/bib-j3ea:2003016
Mis en ligne le 13 novembre 2003.
Article (HTML) 
Résumé
Former des ingénieurs uniquement sur le thème des microsystèmes serait en inadéquation avec les besoins du marché industriel. Néanmoins, de nouvelles applications émergent en conception, réalisation et tests de systèmes intégrés pour lesquelles nous nous devons aussi d'anticiper le marché de demain, en proposant dès aujourd'hui un complément plus orienté « Systèmes » à nos formations.
Les microsystèmes sont une évolution vers la complexité et la pluridisciplinarité des technologies de l'intégration. Leur développement et les méthodes pour former les futurs ingénieurs de demain posent de difficiles problèmes pour nos formations centrées sur les métiers de la microélectronique : quelles démarches, quelles procédures, quelles méthodes, quels outils utiliser pour appréhender par la pratique un domaine aussi horizontal que les microsystèmes ?
Nous proposons dans cet article quelques réponses au travers d'un volet « enseignement par l'expérimentation » depuis la conception (design et simulation numérique 3D), la fabrication (mise en place de la semaine de salle blanche à l'AIME), jusqu'au test d'échantillons par une plateforme comprenant un testeur sous pointes manuel.
Forts de nos acquis depuis 3 ans, nous souhaiterions partager cette expérience au niveau national, en mettant au service des autres nos moyens et nos expériences. Beaucoup d'entre nous se posent actuellement la question d'ouvrir des modules Microsystèmes, cet article présente une possibilité d'enseignement d'une science « jeune », à laquelle nous devons réfléchir ensemble afin de préparer les acteurs de demain.
Mots-clés : microsystèmes, MEMS, CAO, simulation aux éléments finis, salle blanche, process microsystèmes, test sous pointes et caractérisation.
© EDP Sciences, 2003.
|
Niveau de connaissances requis. EEA (électronique, électrotechnique et automatique), mécanique élémentaire (dynamique du point, résistance des matériaux), modélisation aux éléments finis.
Niveau des étudiants. Bac+4.
* S. Muratet 1,2 a obtenu à l'Université Paul Sabatier à Toulouse une maîtrise de physique en janvier 2001, et un DEA « Conception des Circuits Microélectroniques et Microsystèmes » en 2002 à l'INSA de Toulouse. Depuis octobre 2002, elle prépare une thèse de doctorat sur la fiabilité des microsystèmes au Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes(LAAS), laboratoire membre du Centre National de la Recherche Scientifique. Parallèlement à son doctorat, elle est monitrice à l'Institut National des Sciences Appliquées (INSA) de Toulouse où elle est chargée d'enseignements concernant l'électronique et les microsystèmes.
¤ e-mail : [email protected] (auteur de correspondance)
** Jean-Yves Fourniols 1,2 a obtenu son diplôme d'ingénieur INSA en Automatique, Électronique, Informatique en 1993 et a été ingénieur dans les applications spatiales à Matra Marconi Space de 1993 à 1997. Il est, depuis septembre 1997, maître de conférences à l'INSA de Toulouse. Il y développe une spécialité concernant les microsystèmes, les microtechnologies et la microélectronique. Il conduit sa recherche au LAAS, laboratoire membre du CNRS. En décembre 2002, il a obtenu son habilitation à diriger des recherches (HDR) intitulée « Méthodologie de conception des microsystèmes et systèmes intégrés : application aux systèmes embarqués ». Sa recherche porte sur le développement des microsystèmes dédiés aux applications spatiales et est impliqué dans un programme du CNRS sur la fiabilité des MEMS.
1 INSA/DGEI (Institut National des Sciences Appliquées, Département Génie Électrique et Informatique), 135 avenue de Rangueil, F-31077 Toulouse Cedex 4, France
2 LAAS-CNRS (Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes), groupe MIS, 7 avenue du colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France.
Article (HTML)
|
