Microsystèmes à actionnement électrostatique : conception, modélisation et caractérisation
H. Camon * ¤, J.-Y. Fourniols * ¤, S. Muratet * et B. Estibals * (LAAS, Toulouse)
J3eA - Vol. 2, Hors-Série 2 - 2 (2003).
DOI : 10.1051/bib-j3ea:2003602
Mis en ligne le 28 octobre 2003.
Article (PDF) (561 Ko) 
Résumé
Depuis une quinzaine d'années les actionneurs électrostatiques sur silicium ont été développés grâce à l'introduction de nouvelles technologies comme le micro-usinage. Certaines réalisations comme les micro-moteurs, sans trouver d'applications immédiates, ont été pionnières dans le domaine. Les micro-miroirs, bien que développés plus récemment, ont trouvé un champ d'application plus rapidement (projection, télécommunication). Cet article présente les méthodes et résultats obtenus sur ces deux exemples au sein de notre laboratoire.
© EDP Sciences, 2003.
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Ce hors-série contient les articles issus des présentations faites lors des journées Électrotechnique 2003 du club EEA intitulées « Génie électrique : réduction d'échelle et intégration » et organisées par le Centre de Robotique, d'Électrotechnique et d'Automatique les 12 et 13 mars 2003& Voir l'introduction
Plan de l'article
1. Introduction
2. Micro-moteur électrostatique
- 2.1. Technologies de fabrication et principe de fonctionnement
- 2.2. Modélisation des micro-moteurs à capacité radiale
3. Micro-miroir électrostatique
- 3.1. Généralités
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3.2. Modélisation de la partie électrostatique
- 3.2.1 Cas des faibles angles de rotation
- 3.2.1 Cas des forts angles de rotation
- 3.3. Comportement en balayage
4. Conclusion
Références
* Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes (LAAS CNRS), 7, av. du colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 04, France.
¤ e-mail : [email protected] ; [email protected]
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