Les céramiques piézoélectriques permettent un contrôle de déplacements linéaires avec une sensibilité nanométrique non atteignable avec les systèmes mécaniques conventionnels.

Ce travail présente l'implantation d'une Commande à Structure Variable (CSV) pour le pilotage de la céramique piézoélectrique d'un microscope à effet tunnel. L'élongation de l'actionneur est obtenue à partir de la mesure du courant tunnel circulant entre une pointe-sonde fixée à l'extrémité de la céramique et une surface conductrice polarisée, placée perpendiculairement à la pointe. La grande sensibilité du courant tunnel avec la distance pointe-échantillon permet de contrôler des élongations dans le domaine du nanomètre. La modélisation et l'identification du système ont permis d’en déterminer les variables pertinentes pour l'implantation de la commande. La validation expérimentale de cette commande a été effectuée en étudiant sa réponse en poursuite et en régulation, et en comparant ses performances avec celles d'un correcteur intégral conventionnel, utilisé classiquement dans les électroniques de pilotage commerciales.

Mots-clés : actionneurs piézoélectriques, Commande à Structure Variable (CSV), microscope à effet tunnel, nanotechnologie.