Dans cet article, nous décrivons des travaux pratiques de niveau Master dédiés à un domaine en pleine expansion tant dans les laboratoires de recherche que dans l’industrie : les microsystèmes. Ils ont été récemment mis en place au Centre Interuniversitaire de MicroElectronique de Grenoble et sont actuellement dispensés à un public étudiant très varié, issus de trois différentes écoles d’ingénieur : en électronique (ENSERG), en physique (ENSPG) et en électrochimie (ENSEEG). Très complète et quasi-exhaustive, cette formation comporte des aspects de simulation, technologie et caractérisation à la fois dans les domaines de la physique, de la mécanique et de l’électronique. La filière technologique utilisée est simple mais a été mise en place avec le soucis de pouvoir réaliser des composants élémentaires très variés à la fois en microsystèmes et en microélectronique, tout en mettant en évidence la particularité des microsystèmes. L’approche multidisciplinaire, l’enchaînement des séances, depuis la simulation jusqu’à la réalisation et la caractérisation des dispositifs qu’ils ont eux-mêmes réalisés sont autant de facteurs de motivation pour les étudiants. Enfin, nous abordons les évolutions actuelles et à venir concernant cette plateforme d’enseignement.

Mots-clés : microsystèmes, simulation, technologie, salle blanche, caractérisation électrique, travaux pratiques.