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Optique : Collection de la Société Française d'Optique (SFO)

Éditeur : EDP Sciences

Volume consulté :

Systèmes optiques
G. Roblin, éditeur scientifique
© EDP Sciences, 1992-2002.
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Document consulté :

Équipements optiques pour la fabrication microélectronique. ( M. Lacombat)

Cours rédigé. 21 pages. Fichier pdf (1,3 Mo).
DOI : 10.1051/bib-sfo:2002029
Première mise en ligne : 10/04/2002.

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Plan

Introduction
Fabrication d'un circuit intégré
Les machines de lithographie
Photorépéteur sur tranches

Système optique : compromis techniques et états de l'art
Résolutions et profondeurs de champ
Champ et distorsion
Maîtrise dimensionnelle des motifs critiques et éclairement
Techniques d'alignement
Le futur de la microlithographie
Conclusions

Avant-propos
Table des matières
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