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 RessourcesSciences et techniques de l'ingénieurCollection d'optique de la SFO
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Optique : Collection de la Société Française d'Optique (SFO)
 
Éditeur : EDP Sciences

Volume consulté : Systèmes optiques
G. Roblin, éditeur scientifique
© EDP Sciences, 1992-2002.
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Document consulté : Équipements optiques pour la fabrication microélectronique. ( M. Lacombat)
 
Cours rédigé. 21 pages. Fichier pdf (1,3 Mo).
DOI : 10.1051/bib-sfo:2002029
Première mise en ligne : 10/04/2002.
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Plan

  • Introduction
  • Fabrication d'un circuit intégré
  • Les machines de lithographie
  • Photorépéteur sur tranches
    Système optique : compromis techniques et états de l'art
    Résolutions et profondeurs de champ
    Champ et distorsion
    Maîtrise dimensionnelle des motifs critiques et éclairement
    Techniques d'alignement
  • Le futur de la microlithographie
  • Conclusions

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